洁净室几乎用于每个小颗粒都会对制造过程产生不利影响的行业。它们的大小和复杂程度各不相同，广泛应用于半导体制造，制药，生物技术，医疗设备和生命科学等行业，以及航空航天，光学，军事和能源部常见的关键工艺制造。
一、洁净室概述
洁净室是任何给定的容纳空间，其中规定减少微粒污染并控制其他环境参数，例如温度，湿度和压力。关键部件是高效微粒空气（HEPA）过滤器，用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器，在某些需要严格清洁性能的情况下，使用超低颗粒空气（ULPA）过滤器。
选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论的广泛培训。他们通过气闸，空气淋浴和/或更衣室进入和离开洁净室，他们必须穿着特殊的衣服，以捕捉皮肤和身体自然产生的污染物。
根据房间的分类或功能，人员的衣服可能与实验室外套和发网一样有限，或者与多层兔子套装完全包裹在一起，并配有自给式呼吸器。洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维，以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能，并且例如可能导致医务人员和医疗保健行业的患者之间的交叉感染。洁净室服装包括靴子，鞋子，围裙，胡须套，蓬松帽，工作服，面罩，连衣裙/实验室外套，礼服，手套和手指套，发网，头套，袖子和鞋套。使用的洁净室服装类型应反映洁净室和产品规格。低级洁净室可能只需要特殊的鞋子，鞋底完全光滑，不会跟踪灰尘或污垢。但是，鞋底不得产生滑倒危险，因为安全总是优先考虑。进入洁净室通常需要洁净室服。10,000级洁净室可以使用简单的罩衫，头套和短靴。对于10级洁净室，需要小心的长袍穿着程序，并配有拉链盖，靴子，手套和完整的呼吸器外壳。
二、洁净室空气流量原理
洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来维持无颗粒空气。层流或单向气流系统以恒定流量向下引导过滤空气。层流气流系统通常在100％的天花板上使用，以保持恒定的单向流动。层流标准通常在便携式工作站（LF罩）中说明，并且在ISO-1至ISO-4分类洁净室中是强制性的。
适当的洁净室设计包括整个空气分配系统，包括足够的下游空气回收。在垂直流动室中，这意味着在区域的周边使用低壁空气返回。在水平流动应用中，它需要在过程的下游边界使用空气返回。使用天花板安装的空气返回与适当的洁净室系统设计相矛盾。
三、洁净室分类
洁净室按空气清洁程度分类。在美国的联邦标准209（A至D）中，在一立方英尺的空气中测量等于或大于0.5mm的颗粒数，并且该计数用于对洁净室进行分类。该标准的最新209E版本也接受该度量标准。联邦标准209E在国内使用。较新的标准是国际标准组织的TC 209。这两个标准都根据实验室空气中的颗粒数量对洁净室进行了分类。洁净室分类标准FS 209E和ISO 14644-1要求进行特定的颗粒计数测量和计算，以对洁净室或洁净区域的清洁度水平进行分类。在英国，英国标准5295用于对洁净室进行分类。该标准即将被BS EN ISO 14644-1取代。
洁净室根据每单位空气允许的颗粒数量和大小进行分类。诸如“100级”或“1000级”的大数字指的是FED_STD-209E，并且表示每立方英尺空气允许的0.5mm或更大尺寸的颗粒的数量。该标准还允许插值，因此可以描述例如“类2000”。
小数字指的是ISO 14644-1标准，它规定了每立方米空气允许的0.1微米或更大颗粒数的十进制对数。因此，例如，ISO 5级洁净室每m最多105 = 100,000个颗粒。
FS 209E和ISO 14644-1都假定粒径和粒子浓度之间的对数 - 对数关系。因此，没有零粒子浓度这样的东西。普通室内空气大约为1,000,000或ISO 9。
